Ústav technické a experimentální fyziky Institute of Experimental and Applied Physics

Vakuová komora s elektronovou optikou

NázevTitle
Vakuová komora s elektronovou optikouVacuum chamber with electron optics
Druh výsledkuResult type
Ostatní výsledekOther result
AutořiAuthors
M. Kroupa, J. Jakůbek, F. Krejčí
Časopis / citaceJournal / citation
[Functional Sample] 2009.
RokYear
2009
JazykLanguage
cze
RIVRIV
RIV/68407700:21670/09:00165564!RIV10-MSM-21670___
ProjektProject
Příprava, modifikace a charakterizace materiálů energetickým zářenímPreparation, Modification and Characterization of Materials by Energetic Radiation; Využití radionuklidů a ionizujícího zářeníApplication of radionuclides and ionising radiation

AbstraktAbstract

Vakuová komora pro vysoké vakuum (až do 10e-6 mbar). Elektronovou optiku reprezentuje elektromagnetická čočka umožňující fokusaci elektronů různých energií. Aparatura je vybavena posuvnými stolky pro přesné polohování vzorků ve vakuu a průchodkami pro nízké i vysoké napětí. Zařízení slouží k zobrazování elektronů z aktivovaných vzorků pro určení polohového rozložení prvků ve vzorku.

Vacuum chamber for a high vacuum (up to 10e-6 mbar). Electron optics creates electromagnetic lens, which can be used for focusing of electrons with different energies. Device is equipped with step-motor tables for precise sample positioning in vacuum and feed-through for low and high voltage. Apparatus is used for electron imaging of electrons emitted from activated sample for determination of spatial distribution of elements in the sample.