Zařízení pro koincidenční zobrazování sekundárními elektrony

AbstraktAbstract

Vynález se týká zařízení pro koincidenční zobrazování sekundárními elektrony, které zahrnuje alespoň dva detekční prvky uspořádané v řadě za sebou pro trasování jednotlivých částic primárního záření. Detekční prvek je vytvářen alespoň jednou plošnou elektrodou a alespoň jedním zobrazovacím detektorem (např. TimePix), který je tvořen citlivým povrchem propojeným s elektronickým čipem, jehož citlivá povrchová vrstva je rozdělena na pole nezávislých pixelů (P1, P2, ..., Pn), kde každý z těchto pixelů má nastavitelný detekční práh energie (E) koincidenčních skupin a vlastní výstup signálu nesoucího informaci o překonání detekčního prahu energiemi (E) koincidenčních skupin. Mezi plošnou elektrodou a zobrazovacím detektorem je vytvořen vakuový prostor s elektrickým polem. Před plošnou elektrodu ve směru šíření primárního záření lze s výhodou umístit scintilátor.

The invention relates to a method of coincidence imaging using secondary electrons. Part of the invention is also a device for executing this method. During the passage of primary radiation through a conductive planar electrode, secondary electrons are emitted. The impact of the secondary electrons onto the detector is recorded. To avoid the results of the detection from being distorted by random secondary electrons, e.g. from thermal emission, only the coincidence groups of secondary electrons that carry sufficient energy (E) to overcome the detection threshold are registered.